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真空机组系统常用名称 (1)主泵:在真空系统中,用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
(2)前级泵:用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
(3)粗抽泵:从大气压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。
(4)维持泵:在真空系统中,气量很小时,不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作,此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵,就是维持泵。
单级水环泵只适于进口压力为130-1013kPa的压力规划,紧缩比为1:7。若进口压力低于130kPa时,举荐运用双级水环泵。在双级泵中两个泵腔串联接通,工作腔容积比约为2.5:1。双级水环泵的极限压力取决于水的蒸气压力。假设在泵工作温度下的水蒸气压力为pH2O,进口压力为pA,几何抽速为Sth,那么根据阅历,在压力低于130hPa时,泵的有用抽速为SA=Sth(1-pH2O/pA)考虑到油的蒸气压较低,水环式真空泵,双级液环泵也可以用作油作为泵的工作液体,因而取得较低的极限压力。可是,在需要抽除许多水蒸气的时分,特别在粗抽和精油的情况下,因为油易于吸水构成一种乳化液,故液环泵在这种情况下很少运用油作为泵液。假设运用油作为泵液,在泵上还要配备一个油冷却设备,以便散除紧缩热。很少运用三级或多级的液环泵。可是,液环泵常和气体喷射器、水喷射器和罗茨泵串联运用
机泵同轴式直联设计,节省空间,易于安装。
· 2BV系列全部设有气蚀保护管接口,如在极限压力下工作,开启气蚀保护管接口(或与分离器连接)可在较da限度保证吸气效果的情况下消除气蚀声,并对泵进行保护。
· *特的柔性排气口设计,zbe1水环式真空泵厂,不会产生过压缩,确保了2BV在其性能范围内效率优良。
机泵同轴式直联设计,节省空间,水环式罗茨真空泵生产厂,易于安装。
· 2BV系列全部设有气蚀保护管接口,如在极限压力下工作,两级水环式真空泵厂,开启气蚀保护管接口(或与分离器连接)可在较da限度保证吸气效果的情况下消除气蚀声,并对泵进行保护。
· *特的柔性排气口设计,不会产生过压缩,确保了2BV在其性能范围内效率优良。