磐石创新量大从优GASS单双腔立式甩干机掩膜版清洗干燥**

5年
所属行业：机械干燥设备箱式干燥设备

发货地址：江苏徐州贾汪区

信息编号：184737860

产品单价：200000.00 元/台起
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磐石创新（江苏）电子装备有限公司

所在区域：江苏徐州贾汪区
经营性质：私有企业
企业类型：生产加工
注册地：江苏徐州贾汪区磐石创新（江苏）电子装备有限公司
主营产品：真空设备,晶体生长设备,磁控溅射镀膜,长晶炉
注册资金：人民币 500 - 1000 万元

供应信息公司介绍

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“磐石创新量大从优GASS单双腔立式甩干机掩膜版清洗干燥**”详细信息

产品规格：	GASS单双腔立式甩干机	产品数量：	100.00 台
包装说明：	整机、出库清单，保修卡，使用说明书	价格说明：	不限
查看人数：	233 人	本页链接：	https://info.b2b168.com/s168-184737860.html
型号：	PS-1600、PS-1800	颜色：	乳白，可定制
PS-1600单腔室尺寸：	720×450×1510	产品别名：	ALD沉积镀膜设备
材质：	不锈钢、PB板材	用途：	光刻掩膜平板干燥，LED干燥、晶圆片干燥
品牌：	Pans磐石	PS-1600双腔室尺寸：	820×450×1810
PS-1800单腔室尺寸：	760×520×1630	PS-1800双腔室尺寸：	860×520×1830

磐石创新（江苏）电子装备有限公司

GASS立式甩干机是高洁净度冲洗甩干设备, 具有高洁净冲洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特点，不同晶圆尺寸，可通过快速更换转子来实现。是湿法清洗工艺的主要设备，设备本身有单腔室和双腔室2种结构，体型小运行平稳。其主要用于2-8英寸半导体晶圆、掩膜板、各种基片等材料的高洁净度冲洗及干燥工艺。

GASS立式甩干机设备特点
· 可以快速拆卸更换转子；
· 采用直驱式高性能无刷电机；
· 设备正常稳定工作时间≥95%，碎片率低于千分之一；
· 颗粒度增加值 <10 (0.3 micron)，甩干后表面无水渍、无污染物；
· 整机采用进口PFA/PVDF/PTFE管件/喷嘴；
· 气动控制部件采用进口SMC压力开关/电磁阀；
· 电源主空气开关带漏电保护；
· 当设备出现异常时,按急停按钮可停机；
· 动力条件监测及报警；
· 加热系统**温保护；
· 门禁/摆正监测报警。